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半导体用透明石英玻璃管的适用范围以及其他信息 | 新闻来源: 点击数:2971 更新时间:2014-9-19 15:12:01 收藏此页 |
| 1、主题内容与合用范围 本尺度划定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法, 检修规则及标志、包装、运输和贮存等。 本尺度合用于自然水晶或自然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料,应用于半导体工业的透明石英玻璃管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学产业用透明石英玻璃管也可参照本尺度。 2、引用尺度 GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB59a9透明石英玻璃气泡、气线检修方法 GB10701石英玻璃热不乱性检修方法 GB/T l2442石英玻璃中羟基含量试验方法 3、术语 3.1气线:石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。 3.2气线密度:每平方厘米中气线条数。 3.3破皮气线:暴露在石英玻璃管内外表面的启齿气线,其边沿锋利。 3.4色线:石英玻璃管上带有颜色的线条。 3.5沟棱:石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。 3.6晶纹:石英玻璃管上有显著可见的各种微小的炸裂纹。 3.7麻点:石英玻璃管壁上的小雀斑。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹。 3.8杂质:石英玻璃组成中二氧化硅(Si02)以外的组分。 3.9生料颗粒:透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3.10透明颗粒:石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。 3.11波纹:石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。 3.12色斑:在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意外形的色点。 3.13气泡群:透明石英玻璃管壁中,由微小气泡(小于尺度中气泡的下限尺寸)密集而成的群集气泡。 3.14揪痕:排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。 3.15暗疤:透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有显著界面的玻璃态(俗称雪花,破皮或梅花)。在高温熔烧中发橙色亮光。 3.16炸裂:石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。 3.17析晶:透明石英玻璃在特定温度下析出晶体,造成失透。 3.18桔皮:透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。 3.19云雾:石英玻璃管烧制加工中,所产生的二氧化硅(SiO2)挥发物,冷凝后附着在表壁上的白色不透明物。 3.20偏壁度:石英玻璃管统一横截面上******、最小壁厚之差。 3.21椭圆度:石英玻璃管统一横截面上******、最小直径之差。 3.22弯曲度:石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4、产品分类 4.1分类 投出产工艺分以下5类: a.真空常压法管(常压管); b.真空加压法管(加压管); c.电熔二步法管; d.气炼、电熔二步法管(气炼二步法管); e.气炼一步法管(气炼管)。 4.2等级 石英玻璃管按外观分为优等品(A)、一等品(B)和合格品(C)3个等级。 5、技术要求 5.1规格尺寸 5.1.1石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的划定。 5.1.2石英玻璃管的尺度长度为1000mm。 注:1.管子为两端启齿亦可为一端启齿,封口管其孤度部门不包括在长度内。 2.特殊规格或其它规格的管子,由供需双方约定。 5.1.3矩形管、钟罩式石英管规格尺寸由供需双方约定。 5.2尺寸偏差 5.2.1外径偏差、壁厚偏差应符合表1、表2的划定。 5.2.2长度:偏差为管长的±1%。 5.2.3偏壁度:不得大于壁厚偏差的绝对值。 5.2.4椭圆度:不得大于外径偏差的绝对值。 5.2.5弯曲度:不得超过管长的3‰。 注:管长在1000mm以上,其弯曲度不得超过管长的2.5‰。 5.3外观指标 5.3.1常压管、加压管、电熔二步法、气炼二步法管的外观指标应不大于表3的划定。 5.4杂质含量 5.4.1Al、Fe、Ca、Mg、Cu、Co、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B13个杂质元素的总含 量应不大于50×10[-6]其中: Fe≤3×10[-6],Cu≤0.8×10[-6],Na≤2×l0[-6], K≤2×l0[-6],Li≤2×l0[-6],B≤0.3×l0[-6]。 5.4.2羟基含量 半导体用石英玻璃管的羟基含量应不大于220×l0[-6]。 5.5物理机能 5.5.1热不乱性 石英玻璃管在1100℃下恒温15min,置于20±5℃水中急冷,不得泛起裂纹、缺口 (切、磨口处断面崩落不计)。 5.5.2析晶机能 石英玻璃管在l100±5℃下恒温6h,析晶层均匀厚度不大于100μm。 5.5.3高温变形 石英玻璃管在1200±10℃下保温24h,其变形率:直径不大于120mm的管材变形率 应不大于4%,直径大于120mm的管材,变形率应不大于6%。 6试验方法 6.1规格尺寸 对管材的规格尺寸偏差的丈量采用分度值不大于0.05mm的游标卡尺或量具进行 检修。 6.1.1长度 用分度值为1mm的直尺沿管长方向丈量。 6.1.2外径 丈量管材两端及中间部位的直径,每1000mm管材丈量点不得少于5个,取******值与 最小值,计算其偏差。 .1.3壁厚 丈量管材两真个壁厚,每端丈量点不得少于3个,取******值与最小值,计算其偏差。 6.1.4偏壁度 丈量管材两端统一横截面上管壁厚度,取******值与最小值,计算其差值。 6.1.5椭圆度 丈量管材两端统一横截面上外径取******值与最小值,计算其差值。 6.1.6弯曲度 将管材平放在平台上,使两端紧贴平面,滚动管子用塞尺丈量拱起部位与平面之间的******间隙。 6.2外观检修 外观缺陷用目测,尺寸用精度为0.02mm的卡尺检修,尺寸小于lmm的缺陷可用最 小读数为0.01mm的显微镜丈量。气泡、气线按GB5949划定检修。 6.3理化机能检修 6.3.1杂质含量按GB/T3284划定分析。 6.3.2羟基含量按GB/Tl2442划定检修。 文章出处:http://www.fzquartz.com
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