 |
|
 |
| |
 |
联系人：周先生
手 机：15805123459
传
真：0518-87288530
邮 箱：tenghuiquartz@126.com
网 址：www.fzquartz.com
地 址：连云港东海县经济开发区晶宸路1号 |
|
| |
 |
|
|
|
| 半导体用透明石英玻璃管的适用范围以及其他信息 | | 新闻来源： 点击数：3151 更新时间：2014/9/19 15:12:01 收藏此页 |
| 1、主题内容与合用范围
本尺度划定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法， 检修规则及标志、包装、运输和贮存等。 本尺度合用于自然水晶或自然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学产业用透明石英玻璃管也可参照本尺度。
2、引用尺度
GB／T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB59a9透明石英玻璃气泡、气线检修方法
GB10701石英玻璃热不乱性检修方法
GB／T l2442石英玻璃中羟基含量试验方法
3、术语
3．1气线：石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。
3．2气线密度：每平方厘米中气线条数。
3．3破皮气线：暴露在石英玻璃管内外表面的启齿气线，其边沿锋利。
3．4色线：石英玻璃管上带有颜色的线条。
3．5沟棱：石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。
3．6晶纹：石英玻璃管上有显著可见的各种微小的炸裂纹。
3．7麻点：石英玻璃管壁上的小雀斑。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹。
3．8杂质：石英玻璃组成中二氧化硅（Si02）以外的组分。
3．9生料颗粒：透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。
3．10透明颗粒：石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。
3．11波纹：石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。
3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意外形的色点。
3．13气泡群：透明石英玻璃管壁中，由微小气泡（小于尺度中气泡的下限尺寸）密集而成的群集气泡。
3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。
3．15暗疤：透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有显著界面的玻璃态（俗称雪花，破皮或梅花）。在高温熔烧中发橙色亮光。
3．16炸裂：石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。
3．17析晶：透明石英玻璃在特定温度下析出晶体，造成失透。
3．18桔皮：透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。
3．19云雾：石英玻璃管烧制加工中，所产生的二氧化硅（SiO2）挥发物，冷凝后附着在表壁上的白色不透明物。
3．20偏壁度：石英玻璃管统一横截面上******、最小壁厚之差。
3．21椭圆度：石英玻璃管统一横截面上******、最小直径之差。
3．22弯曲度：石英玻璃管在长度方向的平直程度。
4、产品分类
4．1分类
投出产工艺分以下5类：
a．真空常压法管（常压管）；
b．真空加压法管（加压管）；
c．电熔二步法管；
d．气炼、电熔二步法管（气炼二步法管）；
e．气炼一步法管（气炼管）。
4．2等级
石英玻璃管按外观分为优等品（A）、一等品（B）和合格品（C）3个等级。
5、技术要求
5．1规格尺寸
5．1．1石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的划定。
5．1．2石英玻璃管的尺度长度为1000mm。
注：1．管子为两端启齿亦可为一端启齿，封口管其孤度部门不包括在长度内。
2．特殊规格或其它规格的管子，由供需双方约定。
5．1．3矩形管、钟罩式石英管规格尺寸由供需双方约定。
5．2尺寸偏差
5．2．1外径偏差、壁厚偏差应符合表1、表2的划定。
5．2．2长度：偏差为管长的±1％。
5．2．3偏壁度：不得大于壁厚偏差的绝对值。
5．2．4椭圆度：不得大于外径偏差的绝对值。
5．2．5弯曲度：不得超过管长的3‰。
注：管长在1000mm以上，其弯曲度不得超过管长的2．5‰。
5．3外观指标
5．3．1常压管、加压管、电熔二步法、气炼二步法管的外观指标应不大于表3的划定。
5．4杂质含量
5．4．1Al、Fe、Ca、Mg、Cu、Co、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B13个杂质元素的总含
量应不大于50×10[-6]其中：
Fe≤3×10[-6]，Cu≤0．8×10[-6]，Na≤2×l0[-6]，
K≤2×l0[-6]，Li≤2×l0[-6]，B≤0．3×l0[-6]。
5．4．2羟基含量
半导体用石英玻璃管的羟基含量应不大于220×l0[-6]。
5．5物理机能
5．5．1热不乱性
石英玻璃管在1100℃下恒温15min，置于20±5℃水中急冷，不得泛起裂纹、缺口
（切、磨口处断面崩落不计）。
5．5．2析晶机能
石英玻璃管在l100±5℃下恒温6h，析晶层均匀厚度不大于100μm。
5．5．3高温变形
石英玻璃管在1200±10℃下保温24h，其变形率：直径不大于120mm的管材变形率
应不大于4％，直径大于120mm的管材，变形率应不大于6％。
6试验方法
6．1规格尺寸
对管材的规格尺寸偏差的丈量采用分度值不大于0．05mm的游标卡尺或量具进行
检修。
6．1．1长度
用分度值为1mm的直尺沿管长方向丈量。
6．1．2外径
丈量管材两端及中间部位的直径，每1000mm管材丈量点不得少于5个，取******值与
最小值，计算其偏差。
．1．3壁厚
丈量管材两真个壁厚，每端丈量点不得少于3个，取******值与最小值，计算其偏差。
6．1．4偏壁度
丈量管材两端统一横截面上管壁厚度，取******值与最小值，计算其差值。
6．1．5椭圆度
丈量管材两端统一横截面上外径取******值与最小值，计算其差值。
6．1．6弯曲度
将管材平放在平台上，使两端紧贴平面，滚动管子用塞尺丈量拱起部位与平面之间的******间隙。
6．2外观检修
外观缺陷用目测，尺寸用精度为0．02mm的卡尺检修，尺寸小于lmm的缺陷可用最
小读数为0．01mm的显微镜丈量。气泡、气线按GB5949划定检修。
6．3理化机能检修
6．3．1杂质含量按GB／T3284划定分析。
6．3．2羟基含量按GB／Tl2442划定检修。
文章出处：http://www.fzquartz.com
| | 总页数：1 第 1 页 |  |
| | 上一篇：石英管应用领域 下一篇：关于石英管-石英管技术进步历史 | | 【刷新页面】【加入收藏】【打印此文】 【返回】 |
|
|
 |
|