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石英深加工：石英坩埚的要求十分苛刻
新闻来源：    点击数：2196    更新时间：2015-7-29 15:08:41    收藏此页
     石英坩埚先开启循环水，看各冷却水管冷却水是否正常，每台主机设备的循环水压力在0.2MPa左右，水压不能过低或过高，水压过低循环水的水量不够，实验室净化设备冷却不好，温度过高可能烧损设备；石英深加工
    1.使用90微米钢线切割硅片开创了线切领域的先河，每年可多创造利润近千万元；在业内率先实现了100微米钢线切割多晶片技术；自产涂层石英坩埚使拉晶成品率提高了。
    2.石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿，每生产一炉单晶硅就用掉一只石英坩埚，因为单晶硅是生产大规模集成电路和太阳能电池的主要原料，所以对石英坩埚的要求十分苛刻，按照使用范围不同，石英坩埚可分为：太阳能级硅单晶坩埚和集成电路级硅单坩埚。
    3.水压过高使主机设备的冷却部位的水压太大，会使冷却部位爆开漏水；循环开启十五分钟后，方可进行下一操作；（门板冷却水不要大，有水流既可，方水板，电极板，铜电极，立板冷却水开一半既可，水冷套，真空泵和遮热板水量要大）。 文章出处：http://www.fzquartz.com
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