纯度是石英玻璃的重要指标,对理化机能和使用机能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热不乱性、化学不乱性、耐辐射性、荧光特性等,下面小编就来简单介绍下石英玻璃仪器纯度的重要性,希望对大家有所帮助。
用于半导体产业的石英玻璃,对纯度的要求更为苛刻,微量的杂质将给半导体材料的电机能和寿命以及集成度带来严峻的影响。因为半导体材料的纯度要求控制在ppb数目级以下,因此石英玻璃则应控制在PPm数目级以适应半导体产业的需要。
B的分凝系数近于1,最难除掉,是最有害的杂质之一,Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命,K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的有害杂质。 |