在具有新型谐振腔的微波等离子体CVD装置上，利用乙醇和氢气为工作气体在石英玻璃管外表面沉积了均匀、致密的纳米金刚石薄膜。采用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石薄膜的质量；设计腐蚀实验检验了金刚石薄膜的抗腐蚀效果。结果表明：在反应气压为5．5 kPa、碳源浓度为8 vo1％、石英玻璃管温度为500oC的条件下，得到的纳米金刚石薄膜能有效增强石英玻璃管的抗腐蚀性能。
